油液光谱分析可以检测润滑油中的金属元素，但其检测对象是润滑油及其中的所有颗粒，检测出来的元素既包含润滑油本身的元素、也包含外界的污染物质的元素、以及设备磨损及腐蚀产物的元素，但如果具体到某一金属颗粒的的成分和材质，采用油液光谱分析是做不到的，这个时候就需要用到电镜能谱分析。电镜能谱分析可以对润滑油中的某一特定磨粒进行元素分析，具体就是将磨粒分离出来，在电镜下进行观察，定位到需要检测的金属颗粒，再采用能谱仪对其表面微区元素成分进行分析，获取其元素重量比和原子比，以此判断该磨粒的材质。因此，采用电镜能谱仪对磨粒进行成分分析，可以对该磨粒进行溯源，以此判断磨损部件。
