电镜主动减振系统

1、 减振平台安装尺寸（长×宽×高）：1130×902×200（mm）（可以根据不同电镜定制），减振平台重量：190kg；

2、 主动减振带宽：：0.5Hz至100Hz；

3、 产生磁场强度：≤0.3mGpkpk；

4、静息时间：300ms；

5、平台负载重量：300kg至1500kg；

6、 减振效果：从0.5Hz开始有减振效果；到2Hz，水平和垂直两个方向均达到-20dB的衰减（90%衰减）；

7、控制自由度：6；

8、控制方式：含前馈的双重主动控制；

9、执行单元：直线电机；

10、推力常数：80N/Amp；

11、压缩空气：不需要；

12、 安装/调试：由专业研发工程师现场针对性安装、调试；

13、适用机型：用于SEM、FIB、Dual Beam机台等。